一种可直接脉冲调制的MEMS红外激发源

• 作者: 吴飞蝶 周嘉 王建业 纪新明 谢海芬 黄宜平
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 红外传感 微机电系统 辐射系数
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 144-150
• 页数: 7页
• 分类号: TN212
• 字数: 4004字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2005.02.005

摘要

针对红外气体探测器对光源的要求,结合现有MEMS(微机电系统)工艺及与其兼容的IC工艺,研制了一种可用于红外多气体传感器的脉冲式MEMS辐射光源.该光源主要有Si3N4/SiO2的复合支撑层和铂金发热电极组成,可以产生相当于黑体300～800 K的红外辐射,在温度T＝1 106 K时有λ=2.62 μm峰值辐射波长;并且光源有足够强的辐射强度和2～15 μm红外辐射波段,能够满足大部分气体在2～14 μm波长范围内特征的吸收谱线的要求.经过对辐射元的动态测量可知,辐射源的动态调制频率可达到50 Hz,完全能够满足气体测量对所需红外光源调制频率的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴飞蝶	复旦大学微电子学系	5	72	4.0	5.0
2	纪新明	复旦大学微电子学系	12	81	4.0	8.0
3	王建业	复旦大学微电子学系	6	82	4.0	6.0
4	周嘉	复旦大学微电子学系	25	123	7.0	10.0
5	黄宜平	复旦大学微电子学系	39	270	10.0	14.0
6	谢海芬	复旦大学微电子学系	6	58	5.0	6.0