纳米检测轮廓仪相移干涉图处理

• 作者: 于晋龙 井文才 周革 张以谟 张红霞 李岩
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 干涉图处理 相位提取 相位去包裹 四步算法
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 纳米技术
• 页码范围: 13-18
• 页数: 6页
• 分类号: TN247
• 字数: 3908字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2005.01.003

摘要

研究了相移干涉轮廓仪干涉图处理的相位提取算法和相位去包裹算法.提出区分像素点的四步相位提取算法,该算法有效地消除了环境噪声,降低了相移误差的影响,同时具有广泛的实用性.为了验证该算法,首先检测一标准台阶面,测得台阶高度的平均测量误差为1.6%;然后以插入光纤的光纤连接器端面的三维轮廓为对象进行了实际检测,测得光纤端面与连接器端面高度差平均值为45.7 nm,平均测量误差为2%.测得光纤端面上一污点高度为23.6 nm,平均测量误差为3%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张红霞	天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术科学教育部重点实验室	45	209	9.0	12.0
2	井文才	天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术科学教育部重点实验室	40	277	11.0	14.0
3	周革	天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术科学教育部重点实验室	38	190	9.0	12.0
4	李岩	天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术科学教育部重点实验室	28	201	7.0	13.0
5	于晋龙	天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术科学教育部重点实验室	105	521	13.0	16.0