含参考光路的时间差法动态调焦式光学测头

• 作者: 张国雄 张宏伟 李智 樊玉铭 裘祖荣 赵树忠 郭敬滨 高翔
• 来源期刊: 天津大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光学测头 动态主动调焦法 调焦式时间差测量方法
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 精密仪器与光电子工程
• 页码范围: 405-410
• 页数: 6页
• 分类号: TB921
• 字数: 4365字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0493-2137.2005.05.007

摘要

为了满足对机械件、光学件和电子件等几何形貌质量控制和产品监测越来越高的要求,在动态主动调焦法测量原理的基础上,提出一种含参考光路的时间差法动态调焦式光学测头的检测方法.论述了该测头通过测量参考光路和测量光路的时间差实现位移测量的测量原理及其结构,并对这种新的测量方法进行了详细的误差分析,对该光学测头及其测量系统进行了各项实验.实验表明,含参考光路的时间差法动态调焦式光学测头及其测量系统的测量范围为±0.1 mm,测量分辨力为0.075 μm,线性度误差约为0.45 μm.