四路激光跟踪柔性坐标测量系统的跟踪器设计

• 作者: 刘欣丽 张国雄 李杏华 隋修武
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 激光干涉仪 激光跟踪系统 坐标测量机 PID 光电位置检测器 单片机
• 年，卷（期）: 2005,（12）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 1253-1256,1261
• 页数: 5页
• 分类号: TP23
• 字数: 2282字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2005.12.010

摘要

激光跟踪器是激光跟踪坐标测量系统的关键部件.采用双电机驱动的单转镜结构,模拟式的PID与单片机的数字式PID相结合的闭环控制方案,设计了一种新型的激光跟踪器.该跟踪器具有跟踪快速、平稳,反射基点在跟踪过程中保持不动,跟踪精度高等优点,并成功的应用于四路激光跟踪柔性坐标测量系统.实验表明,激光跟踪测量系统的有效跟踪速度优于0.4m/s,综合测量精度1.2μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张国雄	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	267	3932	30.0	48.0
2	隋修武	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	9	70	5.0	8.0
3	李杏华	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	66	514	13.0	19.0
4	刘欣丽	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	6	44	4.0	6.0