孔壁空洞简析

• 作者: 朱斌
• 来源期刊: 印制电路信息
• 学科: 工学
• 关键词: 孔壁空洞 掩膜 直接电镀
• 年，卷（期）: 2005,（12）
• 所属期刊栏目: 孔化与电镀
• 页码范围: 38-39
• 页数: 2页
• 分类号: TQ15
• 字数: 1535字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-0096.2005.12.010

摘要

讨论了造成孔壁空洞的几种原因,主要集中在掩膜与孔壁空洞的联系.另外还讨论了直接电镀技术在解决孔壁空洞上的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱斌		8	13	2.0	3.0