纵向驱动MEMS永磁双稳态机构

• 作者: 丁桂甫 冯建智 姜政 王志明 王艳 顾东华
• 来源期刊: 纳米科技
• 学科: 工学
• 关键词: 永磁 双稳态 MEMS 微继电器
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 纳米器件与技术
• 页码范围: 25-30
• 页数: 6页
• 分类号: TN603.5
• 语种: 中文

摘要

在MEMS继电器中引入双稳态机构可以有效地减少功耗.在进行理论分析证实可行性和模拟仿真优化参数后,利用非硅表面微加工方法中的牺牲层工艺制备了一种扭梁悬臂梁支撑的扭摆式MEMS永磁双稳态机构.该双稳态结构尺寸为1.9mm×1.6mm×0.03mm,通过永磁力实现无功耗姿态保持,对其单侧触点施加纵向驱动力达到15μm的纵向驱动位移可以实现双稳态姿态的切换,控制永磁体磁片、悬臂梁和扭梁的尺寸来灵活调控稳态切换所需的驱动力矩.此双稳态机构可与电磁驱动、电热驱动和静电驱动等类型的微驱动器联用构成永磁双稳态MEMS微继电器.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王艳	上海交通大学微纳科学技术研究院	91	927	17.0	27.0
2	丁桂甫	上海交通大学微纳科学技术研究院	60	503	12.0	19.0
3	顾东华	上海交通大学微纳科学技术研究院	3	11	2.0	3.0
4	姜政	上海交通大学微纳科学技术研究院	8	57	5.0	7.0
5	王志明	上海交通大学微纳科学技术研究院	16	185	7.0	13.0
6	冯建智	上海交通大学微纳科学技术研究院	6	30	3.0	5.0