扫描探针制备技术的研究现状及发展

• 作者: 傅惠南 区仲荣 王宏霞
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描探针显微镜 微悬臂 针尖
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 显微、测量、微细加工技术与设备
• 页码范围: 237-243
• 页数: 7页
• 分类号: TH742
• 字数: 6612字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2005.05.010

摘要

探讨了近几年来探针制备技术的发展和趋势,分别就探针检测性能的改进、探针结构、探针检测功能拓展及多通道信息采集组合探针等几方面,对相关制备技术的方法、特点以及相应检测条件、适用环境展开讨论,这些方面反映探针制备技术正朝着尖锐化、多样化、功能化和组合方向发展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	傅惠南	广东工业大学机电学院	51	129	6.0	7.0
2	王宏霞	广东工业大学机电学院	5	36	5.0	5.0
3	区仲荣	广东工业大学机电学院	4	26	3.0	4.0