基于二维精密电容微位移传感器的二维纳米定位系统

• 作者: 周泽兵 岳金福 彭益武 王碧波
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米定位 压电陶瓷执行机 电容传感器
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 精密测量
• 页码范围: 137-141
• 页数: 5页
• 分类号: TH703.65
• 字数: 2876字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2005.02.010

摘要

设计并研制了一种结构小巧的纳米级精密定位平台.该系统采用正交簧片式设计,有效地抑制了正交运动的耦合,同时应用一个二维电容微位移传感器作为位移标准来对定位平台实行反馈控制,有效地克服了压电陶瓷执行机的非线性和迟滞效应.实验结果表明,该系统定位精度优于1 nm,可在0.5μm×0.5μm范围内实行任意二维纳米循迹定位.给出了半径为2.5 nm的圆及外接圆半径约为5 nm的五角星形的定位轨迹图.该系统基本满足高精度引力实验精确定位的需求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周泽兵	华中科技大学物理系基本物理量测量教育部重点实验室	18	217	9.0	14.0
2	王碧波	华中科技大学物理系基本物理量测量教育部重点实验室	1	52	1.0	1.0
3	岳金福	华中科技大学物理系基本物理量测量教育部重点实验室	1	52	1.0	1.0
4	彭益武	华中科技大学物理系基本物理量测量教育部重点实验室	3	72	3.0	3.0