用于动态红外景物模拟器的超薄氮化钛薄膜

• 作者: 刘卫国 金娜
• 来源期刊: 激光与红外
• 学科: 工学
• 关键词: 动态红外景物模拟 电弧离子镀 氮化钛薄膜 电阻温度系数
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 红外技术
• 页码范围: 35-38
• 页数: 4页
• 分类号: TN37|O484.4
• 字数: 2601字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5078.2005.01.011

摘要

针对动态红外景物模拟器的应用要求,用磁过滤电弧离子镀方法制备了超薄氮化钛薄膜.制备的薄膜厚度介于7.5nm至75nm.重点研究了薄膜的微观结构、电阻温度系数、电阻温度稳定性、薄膜的微加工等性质.实验结果表明,氮化钛薄膜是一种良好的辐射电阻材料.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金娜	西安工业学院光电微系统研究所	9	42	2.0	6.0
2	刘卫国	西安工业学院光电微系统研究所	112	575	12.0	17.0