角速度传感器及其制造方法

• 来源期刊: 国外传感技术
• 学科: 工学
• 关键词: 角速度传感器 可靠性 制造方法 内部 机械 体内 生机 变化 发生
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 页码范围: i002-i003
• 页数: 2页
• 分类号: TN911.7

摘要

原有的角速度传感器存在缺点，压电体内部往往会发生机械断裂，传感器的偏斜角变化，可靠性不佳。