多波长测量技术

• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 地球科学
• 关键词: 多波长干涉测量 表面轮廓 圆度 二极管激光器 长度测量 相移干涉测量
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 精密测量
• 页码范围: 46-52
• 页数: 7页
• 分类号: P1
• 语种: 中文

摘要

给出了3种多波长测量技术的应用实例.采用多波长二极管激光器干涉仪测量表面轮廓.3个二极管激光器分别发射780 nm、823 nm和825 nm 3种近红外光波,可以得到2个近似15μm和29μm的合成波长.激光二极管的注入电流用1 MHz左右的3种不同频率调制,以获得干涉仪的相位调制.这3个干涉信号用1个光电检测器和锁相放大器检测.采用同样的干涉仪,仅用2种波长进行了圆度偏差测量.论述了相移干涉测量技术,其试件的长度表示为光源波长的倍数.如果只使用1种波长,则要求确切知道整数干涉级;而使用多种波长,如532 nm、633nm和780 nm时,可得到几个独立的长度,此时整数衍射级不同,可以通过"精确小数法"计算得到.PTB精密干涉仪长度测量不确定度很小,其单值性范围约0.6 mn,因此其近似的长度估算足以满足超精密长度测量的要求.