基于波长移相干涉的台阶测量技术

• 作者: 于瀛洁 孙流星
• 来源期刊: 测试技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 干涉技术 波长移相 台阶测量 时域处理算法 频域处理算法
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 测试技术与理论研究
• 页码范围: 157-161
• 页数: 5页
• 分类号: TN206
• 字数: 3634字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7449.2005.02.008

摘要

概括了波长移相干涉技术的特点,将基于波长移相干涉技术的台阶测量算法分成两类:时域算法和频域算法.时域算法包括开瑞(Carre)算法和多波长组合算法等,频域算法包括基于时域傅立叶变换找基频算法、塔可达(Takeda)算法等.文中分析了这些算法在实际应用中需要考虑的技术问题,针对时频域算法特点,提出了基于时域傅立叶变换的差分算法.实验结果与分析证明这一算法的正确性和可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于瀛洁	上海大学精密机械工程系	80	791	16.0	24.0
2	孙流星	上海大学精密机械工程系	6	33	4.0	5.0