被测件随机移相干涉面形测量方法

• 作者: 李文宇 王允 赵维谦 赵齐 邱丽荣
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 干涉测量 面形测量 被测件 移相器 随机移相 最小二乘迭代
• 年，卷（期）: 2016,（9）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 2167-2172
• 页数: 6页
• 分类号: TH741.3
• 字数: 2407字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20162409.2167

摘要

针对光学元件的面形测量,提出了一种被测件随机移相干涉面形测量法,用于降低移相干涉仪的成本,避免移相器老化产生的移相误差对面形检测精度的影响.该方法利用微位移驱动器驱动被测件在摩擦气浮复合导轨上移动进行随机移相并用相机采集若干幅干涉图;然后利用最小二乘迭代算法处理干涉图数据进而迭代出被测表面相位分布;最后进行一系列数据处理求解出被测件的面形结果.为了验证该方法的可行性,在实验室搭建了改进的斐索移相干涉系统,并选用一个凹面镜和一个平面镜作为被测件在搭建的系统上进行了实验测试,同时与同台仪器上的传统移相方法得到的测量结果进行了比对.结果表明:在激光光源波长λ为632.8 nm的情况下,凹球面镜面形PV值和RMS值与传统移相方式测量结果相差0.001λ,和0.002λ;平面镜面形PV值和RMS值与传统移相方式的测量结果相差0.002λ和0.003λ,面形数据基本一致.该方法避免了移相器老化引入移相误差,降低了仪器成本,测量精度高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邱丽荣	北京理工大学光电学院	42	160	7.0	11.0
2	赵维谦	北京理工大学光电学院	55	192	8.0	11.0
3	王允	北京理工大学光电学院	29	88	5.0	8.0
4	赵齐	北京理工大学光电学院	3	12	2.0	3.0
5	李文宇	北京理工大学光电学院	1	8	1.0	1.0