基于白光频域干涉的大台阶高度测量方法

• 作者: 刘盛刚 李泽仁 王翔 翁继东 陶天炯 马鹤立
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 台阶 高度测量 频域干涉 量块
• 年，卷（期）: 2015,（9）
• 所属期刊栏目: 高功率激光与光学
• 页码范围: 44-48
• 页数: 5页
• 分类号: TN247|O439
• 字数: 2466字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201527.091007

摘要

基于白光频域干涉的基本原理,提出了一种可实现高分辨率和大台阶高度测量的方法,利用该方法进行台阶高度测量时,其测量范围取决于所用干涉光源的中心波长和光谱仪的分辨率,可达mm量级.在原理验证性实验中,利用该方法已经实现了最大高度为298.57 μm的台阶高度测量,多次重复测量的标准偏差不超过0.03 μm,最大均方根误差为0.94 μm,实验测量结果与台阶高度真实值具有很好的一致性.