使用AFM测量纳米尺度线宽的不确定度研究

• 作者: 李洪波 王凌 肖增文 褚巍 赵学增
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 纳米线宽 测量不确定度 原子力显微镜
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 页码范围: 120-124
• 页数: 5页
• 分类号: TB92
• 字数: 3434字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-1158.2005.02.006

摘要

针对NanoscopeⅢ型原子力显微镜,进行了纳米尺度线宽测量的不确定度分析.提出一个线宽测量的误差校正步骤,确定并分析了影响测量结果不确定度的4方面因素.根据实验和测量过程,分析和计算得到被测样品的线宽值、不确定度分量以及合成不确定度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵学增		133	1496	19.0	30.0
2	李洪波		37	207	9.0	11.0
3	褚巍		17	111	6.0	9.0
4	肖增文		14	87	6.0	8.0
5	王凌		5	34	3.0	5.0