纳米尺度线宽粗糙度测量技术

• 作者: 李洪波 赵学增 赵维谦 高思田
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 线宽粗糙度 边缘粗糙度 原子力显微镜 扫描电子显微镜 散射仪
• 年，卷（期）: 2008,（z1）
• 所属期刊栏目: 精密测量技术
• 页码范围: 93-99
• 页数: 7页
• 分类号: TB92
• 字数: 5933字
• 语种: 中文

摘要

综述了纳米尺度线宽粗糙度测量研究现状.分别论述了线宽粗糙度定义、各种测量工具的优缺点、目前线宽粗糙度采用的测量方法、分析方法及其表征参数,讨论了线宽粗糙度的测量障碍.分析了线宽粗糙度测量不确定度的构成,讨论了采用原子力显微镜为工具的线宽粗糙度测量的影响因素.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵学增	哈尔滨工业大学机电工程学院	133	1496	19.0	30.0
2	赵维谦	北京理工大学信息技术学院	55	192	8.0	11.0
3	李洪波	北京理工大学信息技术学院	37	207	9.0	11.0
7	高思田		93	567	11.0	19.0