纳米尺度栅线结构的线边缘粗糙度分析和表征

• 作者: 景蔚萱 蒋庄德 赵凤霞
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 纳米栅线结构 线边缘粗糙度 线宽粗糙度 扫描电子显微镜
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 481-485
• 分类号: TB921
• 字数: 2528字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2010.06.01

摘要

为了对线边缘粗糙度(LER)和线宽粗糙度(LWR)进行分析和表征,采用电子束光刻工艺和感应耦合等离子体刻蚀工艺制备了两种纳米尺度栅线结构,用扫描电子显微镜(SEM)对所制备结构进行了检测和定性分析.基于离线SEM图像分析法提取了纳米栅线结构的线边缘轮廓.将所提取的线边缘轮廓视为随机信号,分别采用均方根偏差σ、偏斜度Sk、峭度Ku、高高相关函数和功率谱密度函数表征了LER/LWR的幅度特征、形状特征和空间特征,研究了LER/LWR各参数从光刻图形到刻蚀图形的变化,实现了LER/LWR的定量分析和表征.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋庄德	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	165	1512	18.0	28.0
2	赵凤霞	郑州大学机械工程学院	84	507	13.0	18.0
3	景蔚萱	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	17	72	5.0	7.0