基于等效面积法的线宽及线宽粗糙度测量

• 作者: 李洪波 赵学增 赵维谦
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 原子力显微镜 线宽 线宽粗糙度 等效面积
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 页码范围: 16-19
• 分类号: TB921
• 字数: 2490字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2011.01.04

摘要

建立一种基于刻线边缘轮廓特征求取刻线线宽和线宽粗糙度的测量方法.理想情况下,刻线线宽方向截面为矩形,面积为该矩形高度和宽度的乘积.实际测量中,沿刻线线宽方向截面为一多边形,认为该多边形面积S<,1>和理想矩形面积S<,1>相等.利用Tsai给出的台阶高度算法计算刻线单扫描轮廓的高度以获得线宽截面高度H.刻线等效宽度W<,e>可根据上述高度H和截面面积S<,1>求出.线宽粗糙度定义为线宽变化的3倍标准偏差,因此线宽粗糙度也能用该方法求出.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵学增	哈尔滨工业大学机电工程学院	133	1496	19.0	30.0
2	赵维谦	北京理工大学光电学院	55	192	8.0	11.0
3	李洪波	北京理工大学光电学院	7	24	3.0	4.0