光切法表面粗糙度测量仪器自动化改进设计

• 作者: 张红光 曹凤梅
• 来源期刊: 工业仪表与自动化装置
• 关键词: 光切法 表面粗糙度 载物台 自动检测
• 年，卷（期）: 2020,（6）
• 所属期刊栏目: 设计与应用
• 页码范围: 48-51
• 页数: 4页
• 分类号: TH126|TP23
• 语种: 中文

摘要

针对实验室条件下9J光切显微镜测量自动化程度不高、测量效率低、测量误差大的问题,该文对9J光切显微镜的载物台进行了测绘和建模,对其机械部分进行了改进设计,提出了以光切法测量表面粗糙度为基础,通过单片机驱动步进电机控制载物台X、Y方向及仪器主体Z轴方向的运动,并将CCD光电耦合器件与原显微镜结合,实现了测量数据的采集和处理.对比原9J显微镜测量过程:改进后的仪器自动化程度高、降低了操作人员劳动强度、提高了表面粗糙度测量精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张红光		5	1	1.0	1.0
2	曹凤梅		1	0	0.0	0.0