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微叠层材料及其制备工艺研究进展
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摘要：
着重论述了各种微叠层材料及其制备方法,认为电子束物理气相沉积是制备微叠层材料的有效方法;同时对微叠层材料性能方面的研究也作了相应的论述,并展望了我国今后在这方面的研究方向.
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主办单位：
航天材料及工艺研究所
出版周期：
双月刊
ISSN：
1007-2330
CN：
11-1824/V
开本：
大16开
出版地：
北京9200信箱73分箱
邮发代号：
创刊时间：
1971
语种：
chi
出版文献量（篇）
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