大腔体合成工艺初探

• 作者: 刘德才 商敏 段兴仁 贾静波
• 来源期刊: 工业金刚石
• 学科: 工学
• 关键词: 合成工艺 大腔体 工艺方案
• 年，卷（期）: gyjgs_2005,（3）
• 页码范围: 15-17
• 页数: 3页
• 分类号: TQ463.4

摘要

就目前普遍采用的大腔体合成工艺进行了分析与改进，提出了新的大腔体合成工艺方案。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	商敏		2	0	0.0	0.0
2	刘德才		2	0	0.0	0.0
3	段兴仁		2	0	0.0	0.0
4	贾静波		2	0	0.0	0.0