多光束干涉飞秒激光转写周期微结构

• 作者: 姜雄伟 朱从善 赵全忠 赵崇军 邱建荣
• 来源期刊: 激光与光电子学进展
• 学科: 工学
• 关键词: 飞秒激光 微结构制备 干涉
• 年，卷（期）: 2005,（12）
• 所属期刊栏目: 2005年中国学者在国外著名光学期刊上发表的部分科研成果简介
• 页码范围: 19,11
• 页数: 2页
• 分类号: TN2
• 字数: 629字
• 语种: 中文

摘要

利用多光束飞秒激光干涉将周期微结构从镀有金属薄膜的支撑基体转写到另一接受基体上,同时在支撑基体的金属薄膜上形成了与接受基体上正负相反的周期微结构.同时光学及电子显微镜显示在支撑基体及接受基体上得到微米量级的周期结构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵全忠	中国科学院上海光学精密机械研究所光子技术实验室	29	170	6.0	12.0
2	姜雄伟	中国科学院上海光学精密机械研究所光子技术实验室	16	130	8.0	11.0
3	朱从善	中国科学院上海光学精密机械研究所光子技术实验室	30	249	11.0	14.0
4	邱建荣	中国科学院上海光学精密机械研究所光子技术实验室	22	311	9.0	17.0
5	赵崇军	中国科学院上海光学精密机械研究所光子技术实验室	5	27	3.0	5.0