电子束能量、剂量对固化厚度影响的研究

• 作者: 卢文娟 孔祥东 张玉林
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电子束 抗蚀剂 能量 剂量
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 电子束技术
• 页码范围: 7-11,64
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 3437字
• 语种: 中文

摘要

在电子束液态曝光技术的可行性已被证实的基础上,采用理论和实验相结合的方法,就电子束能量和剂量对固化深度的影响进行了研究,以TMPTA和环氧618两种液体低聚物为抗蚀剂,得出了不同能量、不同剂量下的有效穿透深度曲线,以及两种抗蚀剂在能量为25 keV的电子束辐射下的临界剂量,固化出了十字形微结构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张玉林		18	76	5.0	8.0
2	卢文娟		12	47	4.0	6.0
3	孔祥东	东营职业学院科研处	12	74	4.0	8.0