水窗波段反射式偏振光学元件的设计和制作

• 作者: 吴文娟 张众 王占山 王洪昌 王风丽 秦树基 陈玲燕 马彬
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜光学 水窗波段 多层膜 偏振 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2005,（11）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 1581-1584
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4
• 字数: 3114字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-2239.2005.11.030

摘要

水窗波段是软C射线进行生物活细胞显微成像的最佳波段,因此对于水窗波段偏振光学元件的研究有着非常重要的意义.用菲涅耳公式计算出在水窗波段内不同材料组合对应不同波长的最大反射率,模拟分析了多层膜周期和表界面粗糙度对多层膜偏振光学元件性能的影响.用超高真空磁控溅射镀膜设备,制作出2.40 nm、3.00nm和4.30 nm波长处W/B4C多层膜偏振元件,并用X射线衍射仪对元件的周期厚度进行了测量,得到的测量结果与设计值偏差很小,可以进行实际应用.为水窗波段反射式偏振光学元件的研究提供了理论依据,同时也为相应偏振光学元件的制备确定了合适的工艺参量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王占山	同济大学精密光学工程技术研究所	92	640	14.0	19.0
2	王风丽	同济大学精密光学工程技术研究所	27	135	7.0	9.0
3	张众	同济大学精密光学工程技术研究所	25	122	7.0	10.0
4	秦树基	同济大学精密光学工程技术研究所	24	190	9.0	12.0
5	马彬	同济大学精密光学工程技术研究所	13	114	6.0	10.0
6	吴文娟	同济大学精密光学工程技术研究所	44	167	8.0	10.0
7	王洪昌	同济大学精密光学工程技术研究所	14	122	7.0	10.0