极紫外宽带Mo/Si非周期多层膜偏振光学元件

• 作者: 周洪军 孙丽娟 崔明启 张众 朱京涛 王占山 王洪昌 王风丽 秦树基 赵屹东 陈玲燕 霍同林
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 偏振光学元件 多层膜 相移片 检偏器 极紫外 同步辐射
• 年，卷（期）: 2007,（12）
• 所属期刊栏目: 2007中德双边高级专家X射线光学研讨会专栏
• 页码范围: 1886-1893
• 页数: 8页
• 分类号: TB43|O436.3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924x.2007.12.011

摘要

研究了极紫外宽带多层膜偏振光学元件,包括反射式检偏器与透射式相移片.基于Mo/Si非周期多层膜结构,采用解析与数值优化相结合的方法进行了多层膜的设计;采用磁控溅射技术制备了多层膜.利用X射线衍射仪对非周期多层膜的结构进行了表征,利用德国BESSY-Ⅱ同步辐射实验室的偏振测量仪对多层膜的偏振特性进行了测试.测量结果表明,在13～19 nm波段,s偏振分量的反射率高于15%;在15～17 nm波段,获得了37%的反射率.宽带多层膜同样可作为宽角偏振光学元件,在13.8～15.5 nm波段,宽带透射相移片的平均相移为41.7°.采用所研制的宽带多层膜相移片与检偏器,建立了宽带偏振分析系统,并对BESSY-Ⅱ的UE56/1 PGM1光束线的偏振特性进行了系统研究.这种宽带多层膜偏振光学元件可以极大地简化极紫外偏振测量.