三维光成型基础固化工艺的仿真和实验研究

• 作者: 王翔 赵钢 马德盛 黄文浩
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光成型 高斯光束 光固化 固化仿真
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 光子束技术
• 页码范围: 39-45
• 页数: 7页
• 分类号: TH161|TP391
• 字数: 2777字
• 语种: 中文

摘要

在紫外光对液态树脂进行固化成型过程中,扫描光斑的直径、光强和扫描速度等工艺参数对固化结果有着直接影响.首先结合高斯光束的固化理论分析,从平面固化成型基本要素的直线段、圆弧线段的线宽、线高及其精度入手,在理论上分别得到线宽、线高与工艺参数之间的正比关系和指数关系;其次,通过Matlab的建模计算,明确了光强度和扫描速度的变化对固化线宽和线高影响程度的相近性,其中,扫描速度大于600μm/s后,随着速度的增大其产生的误差也越大,并通过实验研究验证了理论分析和建模方法的正确性.最后,通过仿真和实验对工艺参数以及扫描方式的优化,有效地解决了平面轮廓固化扫描中转向拐点处重复曝光引起的固化精度问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵钢	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	28	121	7.0	9.0
2	黄文浩	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	88	768	14.0	23.0
3	王翔	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	59	399	12.0	17.0
4	马德盛	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	6	45	3.0	6.0