微生物加工微细构件的问题分析和研究

• 作者: 孟珺遐
• 来源期刊: 现代制造工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微细加工 光刻 生物刻蚀
• 年，卷（期）: 2005,（10）
• 所属期刊栏目: 专题综述
• 页码范围: 109-111
• 页数: 3页
• 分类号: TG66
• 字数: 2407字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-3133.2005.10.042

摘要

介绍生物刻蚀过程中,具有精细抗蚀膜图形的基体样件的制作,并论述在后续生物刻蚀实验中发现的诸多问题以及对加工结果产生的影响.通过对问题分析,找到合适的解决办法,以便改善生物刻蚀加工微小构件的质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孟珺遐	天津职业大学机电工程与自动化学院	1	0	0.0	0.0