微细加工平台特性研究

• 作者: 刘学鹏 梅雪松 赵冬梅 陶涛
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微细加工平台 Halbach磁阵 磁通密度纹波
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 63-68,72
• 页数: 7页
• 分类号: TM341
• 字数: 2770字
• 语种: 中文

摘要

通过对不同结构的微细加工平台的分析,指出采用Halbach磁阵和螺线管结构研制的微细加工平台的磁场特性比较复杂,难于建模和控制.提出了新型微细加工平台,并对它产生的磁通密度纹波进行了分析,提出以磁通纹波和驱动力为优化目的的二次序列法优化,优化结果表明,磁通纹波减小了30%,驱动力增加了10%.仿真结果表明,该系统有较好的频带宽(0～8 kHz).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘学鹏	西安交通大学机械工程学院	9	48	4.0	6.0
2	梅雪松	西安交通大学机械工程学院	146	1489	22.0	28.0
3	赵冬梅		14	769	11.0	14.0
4	陶涛	西安交通大学机械工程学院	52	591	15.0	22.0