用纳米Al2O3制备超高致密度ZAO靶材

• 作者: 吴敏生 范锦鹏 董民超 赵大庆
• 来源期刊: 粉末冶金技术
• 关键词: ZAO 纳米 超高致密度
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 材料·制品·应用
• 页码范围: 44-47
• 页数: 4页
• 字数: 3519字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-3784.2005.01.009

摘要

将ZAO原料粉体中的Al2O3粒子的粒径降低到纳米级别后,通过无压烧结即可获得超高致密度的ZAO陶瓷靶材(相对密度高于99.0%).致密度大大提高的原因在于,Al2O3粒子粒径降到纳米级后,比表面积和粒子数目都大大增加,从而实现坯体同步均匀的烧结,避免了大气孔的产生.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵大庆	清华大学机械工程系	24	342	10.0	18.0
2	吴敏生	清华大学机械工程系	60	904	18.0	27.0
3	范锦鹏	清华大学机械工程系	5	88	4.0	5.0
4	董民超	清华大学机械工程系	2	48	2.0	2.0