空气轴承

• 来源期刊: 机械工程通用零部件：英文版
• 学科: 工学
• 关键词: 空气轴承 加速性质 冲击激励法 摩擦系数
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 页码范围: 36-39
• 页数: 4页
• 分类号: TH133.35

摘要

Calibration of accelerometers with impact excitation and reference method；Calibration of Sub-lO-nm Flying Height Using the Bump Response； COMPRESSOR TEST RIG FOR MEMS-BASED TURBO MACHINERY； Design and control of a spherical air-bearing system for multi-d.o.f, ball-joint-like actuators；Design consideration for single-pole-type write heads； Design of a 3D CMM with elastically guided z-axis and x, y axis with less than 2 mm ABBE offset