脉冲激光微加工技术在MEMS中的应用

• 作者: 唐洁 张国雄 李艳宁 胡小唐
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 脉冲激光 微机电系统 激光烧蚀 激光-LIGA技术
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 实验技术与测试方法
• 页码范围: 185-189
• 页数: 5页
• 分类号: TN2
• 字数: 4347字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2005.02.027

摘要

介绍了脉冲激光微加工技术及其在微机电系统(MEMS)加工中的应用.脉冲激光微加工技术能够制作出三维微型结构并具有微米/亚微米加工精度,且适用于多种材料,与传统的微细加工技术(光刻、刻蚀、体硅和面硅加工技术等)相比具有其独到之处.阐述了基于激光烧蚀的脉冲激光直接微加工技术、激光-LIGA技术、激光辅助沉积与刻蚀技术以及MEMS的激光辅助操控及装配技术.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张国雄	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	267	3932	30.0	48.0
2	胡小唐	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	205	1913	21.0	33.0
3	李艳宁	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	45	211	8.0	11.0
4	唐洁	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	4	32	3.0	4.0