静电雾化沉积制备PbTiO3薄膜的研究

• 作者: 刘开平 宫华 汪敏强 黄晖
• 来源期刊: 中国陶瓷工业
• 学科: 工学
• 关键词: 静电雾化沉积 钛酸铅 铁电薄膜
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 17-20,12
• 页数: 5页
• 分类号: TM22+1
• 字数: 1702字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-2874.2005.05.005

摘要

采用静电雾化沉积技术制备了PbTiO3薄膜,探索了沉积温度和沉积时间对所制备薄膜的结构和形貌的影响.通过调节制备工艺,制备了多孔和致密的PbTiO3薄膜.测试了所制备钛酸铅薄膜的介电频率特性,在100kHz的介电常数和介电损耗分别为222和0.0247.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘开平	长安大学材料工程系	99	860	17.0	23.0
2	汪敏强	西安交通大学电子陶瓷与器件教育部重点实验室	39	492	11.0	21.0
3	黄晖	西安交通大学电子陶瓷与器件教育部重点实验室	9	296	5.0	9.0
4	宫华	长安大学材料工程系	10	166	6.0	10.0