CMOS多层金属螺旋电感宽带等效电路模型

• 作者: 孙玲玲 闫金星
• 来源期刊: 杭州电子科技大学学报（自然科学版）
• 关键词: 螺旋电感模型 螺旋电感 多层 宽带
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 页码范围: 18-20
• 页数: 3页
• 分类号: TN402
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9146.2005.06.005

摘要

基于CMOS工艺,提出了一种多层金属螺旋电感宽频带等效电路模型.对于多层金属螺旋电感,传统基于频变参量的等效电路模型已不再适用,而该模型引入RL枝节和互感来表征层间金属趋肤效应和邻近效应,用并联RC枝节来表征同层金属和不同层间金属在衬底的耦合效应.此模型以0.35μm 2P4M硅工艺制造的电感验证,测量结果与模型仿真结果在宽频带均具有良好的一致性.