真空沉积法制备InSb纳米颗粒

• 作者: 何焰兰 吕志辉 孙全 黄水花
• 来源期刊: 应用光学
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米InSb颗粒 真空蒸发沉积 原子力显微镜
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 薄膜技术
• 页码范围: 46-48
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.93
• 字数: 1728字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-2082.2005.01.013

摘要

采用真空沉积的方法在SiO2基片上制备出了纳米InSb颗粒薄膜.利用原子力显微镜对4片样品表面进行分析,从其表面形貌图和三维图中可以观察到有粒径均匀的纳米InSb颗粒形成并且均匀地分布在SiO2基片表面.实验表明,通过改变镀膜时间可以得到具有不同颗粒尺寸的InSb纳米颗粒,并且颗粒直径与沉积时间和厚度成正比.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何焰兰	国防科学技术大学理学院	8	52	5.0	7.0
2	孙全	国防科学技术大学理学院	8	26	2.0	4.0
3	吕志辉	国防科学技术大学理学院	1	10	1.0	1.0
4	黄水花	国防科学技术大学理学院	5	34	4.0	5.0