硅纳米薄膜法向热导率的进一步分析

• 作者: 李志信 王增辉
• 来源期刊: 工程热物理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米薄膜 分子动力学 法向热导率
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 页码范围: 179-182
• 页数: 4页
• 分类号: TK124|O414
• 字数: 2597字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-231X.2005.z1.047

摘要

应用非平衡分子动力学方法进一步研究了平均温度为300 K、厚度为2.715 nm～43.44 nm的单晶硅薄膜的法向热导率,模拟结果表明,薄膜热导率低于同温度下单晶硅的实验值,存在显著的尺寸效应,当膜厚度在20 nm以下时,法向热导率随尺度减小而线性减小,当膜厚度大于20 nm时法向热导率随尺度呈现二阶多项式变化.法向热导率的变化规律与面向热导率的变化规律类似,表明薄膜厚度和表面晶格结构对声子传热影响的复杂性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李志信	清华大学航天航空学院	83	1232	20.0	32.0
2	王增辉	清华大学航天航空学院	2	6	1.0	2.0