微波化学反应器内等离子体空间温度的测量研究

• 作者: 孙岚 孙永志 杨鸿生 沈长圣 程广山 董家禄 褚家美
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 微波化学 微波等离子体 温度 热偶计
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 页码范围: 556-558
• 页数: 3页
• 分类号: TP368.1
• 字数: 925字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2005.03.025

摘要

针对矩形波导微波化学反应器,在低气压,低功率,纯甲烷微波放电情况下,用朗缪尔探针测量了石英反应管内等离子体的分布,用热偶计测量了微波等离子体在空间的温度分布.在谐振腔中心位置,等离子体的空间温度可以达到829℃;而在等离子体边缘区域,空间温度仅为78℃.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董家禄		9	119	5.0	9.0
2	孙岚		2	8	2.0	2.0