飞秒激光双光子微细结构的制备

• 作者: 刘立鹏 周明 戴起勋 潘传鹏
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 超快光学 飞秒激光 微细加工 双光子吸收 光聚合 光子晶体
• 年，卷（期）: 2005,（10）
• 所属期刊栏目: 激光物理与激光化学
• 页码范围: 1342-1346
• 页数: 5页
• 分类号: TN305|TN405
• 字数: 4046字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2005.10.010

摘要

基于双光子吸收引发的光聚合局限在紧密聚焦的焦点区域的原理,建立了飞秒激光三维微细加工系统;结合高斯光束的强度分布函数,推导了横向与轴向分辨率的表达式.在ORMOCER材料内实现了双光子光聚合,最高加工精度达到0.7μm.研究表明,加工线宽随功率增加而增加,随加工速度增加而减小;确定了波束腰为0.425μm,双光子吸收截面为2×10-54cm4·s.采用双光子光聚合技术,加工了齿宽5μm的实体微型齿轮,制备三维木堆型光子晶体结构,分辨率为1.1 μm,杆间距和层间距均为5μm,实现了飞秒双光子光子晶体结构的制备.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周明	江苏大学材料科学与工程学院	105	1124	19.0	29.0
2	戴起勋	江苏大学材料科学与工程学院	136	1417	20.0	28.0
3	刘立鹏	江苏大学材料科学与工程学院	5	84	5.0	5.0
4	潘传鹏	江苏大学材料科学与工程学院	3	58	3.0	3.0