线性共蒸法制备非均匀膜的误差特性模拟分析

• 作者: 孔伟金 沈自才 范正修 邵建达
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 光学薄膜 非均匀 渐变折射率 共蒸法
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 866-870
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 3455字
• 语种: 中文

摘要

对双源线性共蒸法制备的非均匀薄膜折射率分布与光学特性的关系作了探讨,并与均匀介质膜的光学特性作了对比;从折射率正变和负变两个方面,讨论了混合介质膜折射率不同变化规律对光学性能带来的影响;讨论了厚度误差和折射率极值误差对非均匀膜光学性能的影响.结果发现:折射率变化规律误差主要对非均匀膜的应用波段范围产生影响,而膜层厚度误差和折射率极值误差超过一定值时,将对薄膜光学特性产生重要影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邵建达	中国科学院上海光学精密机械研究所	212	2131	21.0	29.0
2	范正修	中国科学院上海光学精密机械研究所	203	2312	23.0	32.0