飞秒激光加热多层金属薄膜的热响应

• 作者: 宋亚勤 张元冲 徐红玉 王秋军
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 双曲两步模型 金属薄膜 飞秒激光加热 非平衡热行为
• 年，卷（期）: 2005,（9）
• 所属期刊栏目: 纳米材料与结构
• 页码范围: 405-410,439
• 页数: 7页
• 分类号: O484|O532.25
• 字数: 5316字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2005.09.003

摘要

采用微观双曲两步热传导模型,研究了飞秒脉冲激光加热过程中多层金属薄膜的热响应.利用界面连续条件,推得三层金属薄膜各层薄膜内电子温度和晶格温度在拉普拉斯域内的解析表达式.通过拉普拉斯数值反变换,计算并绘制了100 nm单层Au膜和34 nm Au/33 nm Cr/33 nm Au三层膜在飞秒脉冲激光加热过程中各层薄膜内电子温度和晶格温度沿薄膜厚度的分布曲线.数值结果表明,激光加热过程中不仅电子与晶格之间存在强烈的非平衡热行为,不同金属材料薄膜界面上金属晶格温度也具有急剧的非平衡行为.同时讨论了多层薄膜温度分布特点及其与薄膜材料参数的关系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐红玉	河南科技大学建筑工程学院	72	327	9.0	14.0
5	张元冲	西安交通大学工程力学系	25	145	8.0	11.0
6	宋亚勤	西安交通大学工程力学系	17	95	6.0	9.0
7	王秋军	西安交通大学工程力学系	6	59	4.0	6.0