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摘要:
<正>In higher vacuum field, one of the main factors of affecting the degree of vacuum is the pollution of vacuum pump oil,which is mainly caused by the back-streaming of the backing pump oil. Based on the technology of semiconductor refrigeration, the semiconductor cold trap is designed. The trap can be effectively used to resist the back-streaming of oil,thereby to increase the degree of vacuum. The basic principle of a semiconductor refrigeration apparatus is:to connect it with power supply, the
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文献信息
篇名 Semiconductor Cold Trap
来源期刊 近代物理研究所和兰州重离子加速器实验室年报:英文版 学科 工学
关键词 半导体制冷技术 冷阱 真空泵油 制冷装置 真空度 油流
年,卷(期) 2005,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 157
页数 1页 分类号 TB742
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中国科学院近代物理研究所和兰州重离子研究装置年报:英文版
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