光纤测厚中光谱"双峰"现象的分析

• 作者: 孙艳 王昭 赵宏
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 物理学
• 关键词: 反射干涉光谱法 薄膜 光谱 光纤
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 光电技术应用
• 页码范围: 356-358
• 页数: 3页
• 分类号: O433
• 字数: 1380字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2005.04.024

摘要

在用反射干涉频谱法(Rifs)测量薄膜厚度的过程中,薄膜的反射光谱经常见到"双峰"现象,即相邻的波峰(或波谷)连在一起,区别于通常按吸收曲线有规律分布的光谱.对该现象进行了深入研究,结果表明:该现象和被测试处薄膜厚度不均匀有关,当厚度差异较大时,入射光在薄膜的不同厚度点发生反射,各点的反射干涉光谱叠加就会产生"双峰"的结果.对基本厚度为2 000 nm的聚苯乙烯薄膜的仿真结果表明:膜厚差异超过1/10,开始出现双峰.研究还表明,"双峰"现象并不影响厚度计算的准确度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵宏	西安交通大学机械工程学院	71	687	16.0	23.0
2	王昭	西安交通大学机械工程学院	63	763	13.0	26.0
3	孙艳	西安交通大学机械工程学院	36	242	8.0	13.0