大冲程低PV值的分立式微变形镜结构设计研究

• 作者: 乔大勇 苑伟政 饶伏波
• 来源期刊: 西北工业大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 分立式微变形镜 大冲程 低PV值
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 页码范围: 637-641
• 页数: 5页
• 分类号: TB43
• 字数: 2086字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-2758.2005.05.021

摘要

针对微变形镜镜面残余应力变形问题,使用数值法分析了多晶硅层和金属层不等面积的双层微机械薄膜残余应力影响下的变形情况,得到了变形-金属膜尺寸的关系曲线,确定了特定应力下最佳的金属反射面大小;此外,还利用弹性系数可变的折叠梁对分立式微变形镜单元的静电力驱动进行了改进,有效地增大了分立式微变形镜的冲程,使其能对近红外光进行校正.