基于MEMS技术的分立式微变形镜校正能力研究

• 作者: 关小伟 王宝国 陈力子
• 来源期刊: 大气与环境光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 自适应光学 微变形镜 适配能力 校正能力
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 大气光学
• 页码范围: 331-336
• 页数: 6页
• 分类号: TH74
• 字数: 2229字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-6141.2008.05.003

摘要

针对基于微型机电系统技术的分立式微变形镜,从镜面面形特点出发分析了方形和蜂窝形阵列变形镜适配能力,并利用ZEMAX软件建立畸变波前和变形镜模型,仿真分析两种分立式微变形镜的校正能力.研究表明在近似子单元数情况下,蜂窝形阵列微变形镜对畸变波前的校正能力更好.