一种新型分离式微变形镜的特性分析

• 作者: 余洪斌 刘喜斌 李俊 陈海清
• 来源期刊: 湖南理工学院学报（自然科学版）
• 关键词: 微光机电系统 微镜 变形能 等效弹性系数 谐振频率 瞬态响应
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 物理与化工
• 页码范围: 48-51,55
• 页数: 5页
• 分类号: PN201
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-5298.2008.03.014

摘要

针对一种结构新颖的分离式微变形镜的动、静态特性进行了分析.从能量角度入手对微镜支撑结构在其不同运动状态下所表现出的等效弹性系数进行了推导.以Z轴方向的平动为例对微镜的静态变形-电压关系、谐振频率及瞬态响应进行了详细讨论.分析结果表明,在115V时镜面变形可达2μm,而谐振频率为58.805kHz.同时通过与ANSYS模拟结果的对比证实了理论分析的可靠性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈海清	华中科技大学光电子工程系	95	682	14.0	18.0
2	李俊	华中科技大学光电子工程系	117	1116	16.0	30.0
3	余洪斌	华中科技大学光电子工程系	23	160	8.0	11.0
4	刘喜斌	湖南理工学院物理与电子信息系	24	63	4.0	7.0