无阀压电微泵的动态特性研究

• 作者: 刘长春 崔大付 王利 王海宁 赵强
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 微泵 压电 无阀
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 压电及其他功能器件
• 页码范围: 631-633
• 页数: 3页
• 分类号: TH137
• 字数: 1973字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2005.06.012

摘要

微泵作为微流控系统中的核心控制元件已成为MEMS研究的热点,现主要研究了无阀式压电微泵的工作原理及其动态工作特性.实验表明,无阀压电微泵的流速随频率呈抛物线关系变化,最佳工作频率为1 250Hz.在频率固定时,微泵流速随驱动电压的升高而增加.泵膜的厚度对于微泵的性能影响很大,相同条件下,较薄的泵膜具有更高的流速,且泵膜越薄,其性能对于频率的变化越敏感.电压为50 V时,微泵最大流量可达1.695μL/min.总体看来,无阀压电微泵结构简单,驱动电压较低,性能稳定可靠.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	崔大付	中国科学院电子学研究所传感技术与科学国家重点实验室	77	974	17.0	27.0
2	王利	中国科学院电子学研究所传感技术与科学国家重点实验室	57	381	11.0	17.0
3	赵强	中国科学院电子学研究所传感技术与科学国家重点实验室	78	651	14.0	21.0
4	王海宁	中国科学院电子学研究所传感技术与科学国家重点实验室	10	80	7.0	8.0
5	刘长春	中国科学院电子学研究所传感技术与科学国家重点实验室	28	337	10.0	17.0