基于时间差法主动调焦式激光测头的研究

• 作者: 张国雄 李智 樊玉铭 赵树忠 高翔
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 测量 激光测头 动态主动调焦 时间差调焦测量
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 测量技术
• 页码范围: 514-518
• 页数: 5页
• 分类号: TS736+.2|TN247
• 字数: 3729字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2005.04.017

摘要

在研究动态主动调焦法测量原理的基础上,提出一种新型的动态主动调焦式激光测头的检测方法.该检测方法的核心原理是将位移量的测量转换成了时间差的测量,从而简化了激光测头的结构,提高了激光测头的测量精度和稳定性.介绍了所设计的高精度激光测头测量系统,并对激光测头进行了动态特性的实验.结果表明激光测头的测量分辨力为0.075μm,测量线性度为0.45μm,测量范围为±0.1 mm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张国雄	天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室	267	3932	30.0	48.0
2	赵树忠	天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室	10	91	5.0	9.0
3	樊玉铭	天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室	31	179	8.0	10.0
4	李智	天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室	19	176	5.0	13.0
5	高翔	天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室	8	72	5.0	8.0