用于切割硅薄膜太阳能电池的激光器研究

• 作者: 刘源 吴奇彬 李正佳
• 来源期刊: 激光与光电子学进展
• 学科: 工学
• 关键词: 激光切割 薄膜 太阳能电池 有限元
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 光电子器件与技术
• 页码范围: 43-47
• 页数: 5页
• 分类号: TN2
• 字数: 2985字
• 语种: 中文

摘要

相比其他加工方式,激光加工具有割线小,切割速度快,割缝边缘垂直度好,切割时无机械应力等优点.本文结合国内外激光薄膜加工研究结果,从激光与物质相互作用的角度出发,建立激光切割硅薄膜太阳能电池的理论模型.用有限元法(FEM)求得柱面坐标下热平衡方程的数值解.讨论激光波长,能量密度,脉冲重复频率,光斑形状与薄膜损伤阈值,切割速度,以及切割质量之间的关系.结合理论分析与实验,优化了激光器的设计,选择氪灯抽运的λ=532nm Nd:YAG激光器,采用KDP倍频,声光调Q方式工作,给出了重复频率与切割速度的配对关系,提出用柱面聚焦系统代替球面聚焦系统,从而减小垂直于割缝方向的热影响,并有利于切割速度的提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李正佳	华中科技大学激光技术国家重点实验室	82	537	11.0	18.0
2	刘源	华中科技大学激光技术国家重点实验室	18	161	6.0	12.0
3	吴奇彬	华中科技大学光电子工程系	3	20	3.0	3.0