发射光谱法研究CaO对等离子体刻蚀废气的吸收作用

• 作者: 刘慧杰
• 来源期刊: 光谱实验室
• 学科: 化学
• 关键词: 发射光谱法 等离子刻蚀 氟 废气 CaO
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 页码范围: 130-133
• 页数: 4页
• 分类号: O657.31
• 字数: 2670字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-8138.2005.01.035

摘要

以CF4/Ar作为等离子体刻蚀废气的模拟气体,经电感耦合等离子放电之后,通过CaO固体粉末进行废气的吸收,测得吸收废气的CaO的发射光谱.与模拟刻蚀废气光谱比较可知,CaO可除去废气中70%的F元素,并给出了未能全部清除的原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘慧杰	东莞理工学院电子系	14	35	4.0	5.0