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Metryx提供具有原子层测量精度的工具
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文献信息
| 篇名 | Metryx提供具有原子层测量精度的工具 | ||
| 来源期刊 | 可编程控制器与工厂自动化(PLC FA) | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 测量精度 测量工具 原子层 非破坏性 MEMS 材料特性 精度测量 氧化物 半导体 | ||
| 年，卷（期） | 2005,（10） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 19-20 | |
| 页数 | 2页 | 分类号 | TH821 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
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测量精度
测量工具
原子层
非破坏性
MEMS
材料特性
精度测量
氧化物
半导体
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期刊影响力
可编程控制器与工厂自动化(PLC FA)
主办单位：
中国电工技术学会
出版周期：
月刊
ISSN：
1606-5123
CN：
开本：
出版地：
深圳福田中心区深南大道4009号投资大厦14楼E2-E5室
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
7431
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