原子力显微镜在信息存储介质检测中的应用

• 作者: 刘万里 孙大许 闫勇刚 马强
• 来源期刊: 现代科学仪器
• 学科: 工学
• 关键词: 原子力显微镜(AFM) 光盘 凹坑 检测
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 分析测试技术与应用
• 页码范围: 51-53
• 页数: 3页
• 分类号: TQ597
• 字数: 1304字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-8892.2005.05.020

摘要

介绍了原子力显微镜(AFM)的原理及特点.用AFM对光盘上记录信息用的凹坑结构进行了三维检测.所得结论表明AFM在信息存储介质检测过程中具有独特的优势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘万里	河南理工大学精密工程研究所	9	141	5.0	9.0
2	马强	河南理工大学精密工程研究所	10	68	4.0	8.0
3	孙大许	河南理工大学精密工程研究所	8	64	4.0	8.0
4	闫勇刚	河南理工大学精密工程研究所	32	163	8.0	11.0